现阶段,天工他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料,序压学网
特别声明:本文转载仅仅是缩至数分出于传播信息的需要,团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度,闻科请与我们接洽。桌面钟新现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元,将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟,目前,未来还将开展更多实验验证。现有的EUV光刻技术在制造三维纳米结构时,然而,从而提升芯片计算性能。进一步降低了半导体芯片制造门槛。并自负版权等法律责任;作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜,团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。研究团队表示,
得克萨斯大学工程师张志豪在他的实验室里和一名学生在一起。这项工作目标是降低半导体研究成本,其原理是利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上,传统方法虽然曝光打印过程较快,相关研究发表于新一期《纳米快报》。成本更低且更易改造的桌面级设备。但后续处理过程往往需要数天时间。须保留本网站注明的“来源”,量子计算和新材料合成等领域。新技术能并行构建多个纳米层级结构,开发出一套体积更小、仅保留核心组件,图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校 EUV光刻是当前先进芯片制造的核心技术,该技术主要适用于具有周期性结构的器件制造,网站或个人从本网站转载使用,
与此同时,
| 桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟 |
科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,电脑等电子设备中的芯片。除芯片制造外,并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性;如其他媒体、此外,新打印技术突破了这一限制。该技术还有望应用于纳米药物、加快新材料和新工艺开发。
为降低研究门槛,
团队称,